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【深圳湾边贸易】分享供应韩国Atovac系列进口产品,Atovac控制器、Atovac微量燃料电池、Atovac真空计、Atovac节流阀、Atovac MFC 箱面板和气流系统
ATV1000 All Teflon Throttle Valve
韩国Atovac ATV1000全聚四氟乙烯节流阀
ATV1000全聚四氟乙烯节流阀用于控制真空室中的压力。
ATV1000 全特氟龙(节流阀)设计与Atovac GPC3000(自动压力控制器)兼容。
特别是,其特征在于其为POCL液体,被广泛用作半导体工艺制造设备的排出装置。
■ ATV1000全铁氟龙(节流阀)采用微步进电机和直接齿轮驱动器,提高阀门的分辨率。
可半永久性使用。
■ ATV1000全铁氟龙(节流阀)可与Atovac GPC3000控制器连接使用,也可连接使用其他公司产品的控制器。
■ ATV1000全聚四氟乙烯(节流阀)采用聚四氟乙烯材料制成,专用于防污染。
速度(打开到关闭) | 2.0秒 |
解决 | 1/24000 |
驱动方式 | 直接齿轮传动 |
阀门电机环境 工作温度 | -20 至 +40 |
不同的压力 跨阀 | 1 个大气压。最大 (15psig) |
轴封处外部泄漏 | 1x10-8 秒/秒 He |
暴露于工艺中的材料 | 聚四氟乙烯、聚醚醚酮、氟橡胶 |
兼容控制器 | 型号GPC3000 MKS 651、1651 型 |
尺寸 | i英寸特氟龙连接 |
全闭漏(100mmH2O) | 3升/分钟 |
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